概述

STACIS IIIc是STACIS III**主動隔振系統的緊湊型版本。它在減小的高度下提供了同樣出色的隔振性能。

STACIS IIIc非常適合在沒有或地板很低的活動地板上使用，因為標準STACIS III系統的高度會使儀器過高。

在三隔離器配置中，隔離器高度小于常規STACIS III高度的60％。在具有3個以上隔離器的系統中，高度將在60％到70％之間，具體取決于有效負載設置。有關詳細信息，請參見下面的規格。

 

 

STACIS IIIc優勢

與常規STACIS III系統相比，隔離器高度**多降低42％，而性能卻沒有降低。

STACIS比空氣隔振器堅固數百倍，沒有任何空氣隔振系統的局限性。它沒有“軟"懸架，與主動空氣系統不同，STACIS可以放置在帶有內部主動空氣隔振系統的工具下方，使兩個系統都在**狀態下運行。

的串行設計和專有的高力壓電技術 

可實現0.6 Hz至150 Hz的寬主動帶寬和從2 Hz開始減振90％的**主動隔振性能。
 

性能

 

性能規格

規格

 

隔振器設計、尺寸、環境和效用要求

DC-2020控制器規格

STACIS用戶及應用領域
1、微電子、半導體
? 晶片檢測
? 顯微光刻技術
? 掩膜校準
2、科學研究、納米技術
? SEM、TEM
? STEM、SPM
3、激光臺
? 生命科學、藥物研發
4、工業應用
? 精密加工
 
為什么要選擇主動系統？
? 從<1Hz開始強烈消除地面震動，氣動平臺在這一低頻處無法起到有效的隔振
? 提高質量、生產量
? 更加細小特色的成像能力
? 前沿研究
? 比氣動平臺更穩定
? 滿足SEM標準地點安裝參數的**解決方案
? 使得新實驗室及研究設備的工程造價更低
 
主動系統為何選擇STACIS
? 正中了科研者的的心聲，提供了盡可能**的無震環境。
? 市場上**強勁的低頻隔振系統。
? 目前所有的SEM廠商都公布了安裝參數要求，其需要的震動參數需要主動隔振系統才能滿足。
? STACIS**發明于1990s，經TMC進一步發展，開發和安裝了數以千計的主動隔振系統，這是主動隔振控制領域的提供的可靠解決方案。
 
STACIS相比氣動隔離器剛性大幾百倍
穩定時間作為對擾動的響應，由于的串聯式設計，而大大縮短，理想應用于機械制造、動態負載、激光或者光源需要安裝的獨立剛性臺面的情況下。
 
如下優勢在業內都是**的
? STACIS的主動隔振帶寬為0.6Hz -150Hz
? 6個自由度的主動震動消除，在1Hz時隔振8-10dB 
? 從2-3Hz時，隔振可達90% (20dB) 
 
專業的環境調查
1、安裝前后的環境調查，包括震動、磁場、聲波
2、安裝后可提供環境系統體系認證
? 完善的環境調查服務
? 開具專業環境報告
? 提供震動、磁場、聲波檢測及解決方案
? TMC基于其廣泛經驗向用戶推薦實用性方案 
? 40多年的行業經驗，業內的**
 
應用照片